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Forschungsbereich B: Diagnose, Test und Zuverlässigkeit

Um die sichere Funktion eingebetteter Systeme zu gewährleisten, müssen Verfahren für Diagnose und Test entwickelt werden. Hinsichtlich eingebetteter Mikrosysteme müssen sowohl Methoden zum integrierten Test von Software, Elektronik und Mechanik erforscht werden als auch Verfahren zum Selbsttest und zur Selbstkalibration während des Betriebs des Mikrosystems realisiert werden.

Projekte im Forschungsbereich B "Diagnose und Test":

B.1
Testmethoden für MEMS
B.2
Selbstdiagnose und -kalibration von eingebetteten Mikrosystemen

B.1   Testmethoden für MEMS


Akkurate und kosteneffiziente Testverfahren sind insb. für die Massenfertigung von MEMS von herausragender Bedeutung. Die Erfahrungen im Bereich digitaler CMOS-ICs zeigen, dass auch bei gut beherrschten Fertigungsprozessen die Ausbeute unter 100% liegt und jedes einzelne IC vor der Auslieferung getestet werden muss. Während die Testbarkeit von digitalen Schaltkreisen relativ gut untersucht ist, bringen die mikromechanischen Komponenten von MEMS neue Herausforderungen mit sich. Daher scheinen Ansätze zielführend, die bereits beim Entwurf eines MEMS seine Testbarkeit gewührleisten (Design for Testability). So könnten etwa zusätzliche Strukturen auf dem MEMS platziert werden, welche die Teststimuli direkt auf dem Chip erzeugen (Selbsttest). Ferner ermöglichen solche Strukturen die Testanwendung im laufenden Betrieb (On-line Test).

Testsystem

Abb. B.1: Im Rahmen des Graduiertenkollegs gemeinsam mit der Arbeitsgruppe von Prof. Dr. Oliver Paul entwickeltes Testsystem zur simultanen elektrischen und mechanischen Stimulation von MEMS.

 

Statusreport :
Testmethoden für MEMS von Stefan Hillebrecht

Kontakt:
Prof. Dr. Bernd Becker
Lehrstuhl für Rechnerarchitektur
Institut für Informatik
Georges-Köhler-Allee 051, 79110 Freiburg
Telefon: 0761-203-8141 | Fax: 0761-203-8142 | E-Mail

B.2   Selbstdiagnose und -kalibration von eingebetteten Mikrosystemen


In diesem Projekt sollen Methoden zur Selbstkalibration thermischer und mechanischer Mikrosysteme entwickelt werden durch die Beantwortung der Frage, ob die Mikrosystemsensitivität nur durch Nutzung innerer Wirkungen, d.h. ohne externes Eingangssignal, bestimmt werden kann. Des weiteren sollen Methoden zur Überwachung der Drift eines Mikrosystems, insbesondere zur Früherkennung eines sich ankündigenden Versagens untersucht und entwickelt werden. Ferner wird die übergeordnete Frage gestellt, wie klein ein minimaler Kern eines Mikrosystems sein muss, dessen Funktionalität noch extern überprüft werden muss, der selbst aber in der Lage ist, die Funktionalität des restlichen Systems im eingangs genannten Sinn zu überprüfen,

Statusreport :
Selbstdiagnose und -kalibrierung von eingebetteten Mikrosystemen von Martin Cornils

Kontakt:
Prof. Dr. Oliver Paul
Lehrstuhl für Materialien der Mikrosystemtechnik
Institut für Mikrosystemtechnik
Georges-Köhler-Allee 103, 79110 Freiburg
Telefon: 0761-203-7191 | Fax: 0761-203-7192 | E-Mail

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